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API 2022新年寄语：笃力创新全力以赴

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由FANUC、吉利汽车、雷尼绍三方讲师共同完成的数控机床伺服调整与精度检测专题培训在宁波职业技术学院圆满结束

CIMES2018:雷尼绍 XM-60多光束激光干涉仪

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激光干涉仪常见问题

问 Q

光动optodyne激光干涉仪精度怎么样？

答 A

激光干涉仪，主要有激光头，镜组，电路部分，和补偿部分组成。激光头是核心，但从激光头来说比雷尼绍要差一些，跟安捷伦更是没法比。尤其是他的测量理论无法确定。

问 Q

激光干涉仪测量遍数多了好吗？

答 A

激光干涉仪属于精密测量仪器，收到环境的影响比较大，如果多次测量是为了获得被测物体的重复性，需要建立实验大纲，详细的记录不同环境下的读书。如果检测机床，通常往返重复5次。

问 Q

激光干涉仪测量的是相对位移还是绝对长度？

答 A

相位细分可分为电子细分和光学细分。光学细分主要是用平面测量镜组来代替角锥测量镜组，可以细分成λ/2然后在根据激光在平面测量镜组往返次数来计算，比如往返两次就细分为λ/4,往返三次就细分为λ/8。电路细分就是靠电路板的水平了，想安捷伦的N1225A电路板可以细分到λ/1024。在使用平面镜的情况下就可以达到整体细分后的分辨率0.15nm。希望能帮到你。

问 Q

激光干涉仪用什么软件？

答 A

激光干涉仪般都随机带软件,知道用做.般说没软件支持所激光干涉仪.

问 Q

激光CCD位移传感器和激光干涉仪的区别?

答 A

一个是激光追踪仪，一个是干涉仪，原理不一样。一个是靠激光进行定位比较，一个是靠激光干涉。价格不同

问 Q

激光干涉仪的检定费是多少

答 A

看你检定什么，主要有精度，拍频等。在国家计量院和304所都有计量的，国家院的精度是3000，拍频3000，还有什么传感器精度大概也是3000左右。304所是针对航空航天单位的计量单位国家副标准费用不太清楚大概和计量院的差不多。大部分检定都是在国家计量院那边的

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