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高精度，非接触测量系统
·U2（XY平面）=（1.5+L/250）μm
·分辨率 0.1μm (0.025μm作为选配)
·高速马达 400 MM/sec
·双套不同倍率光学系统
·Windows 2000操作系统
·自定义客户界面
·多元传感，影像系统和激光系统
·具有专利权的可编程的环光（PRL）
·独有的边缘寻边的算法程序
| 仪器 PINNACLE 参数指标： |
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测量范围 |
250×165×100 MM
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分辨率 |
0.1μm (0.025μm作为选配) |
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马达驱动系统 |
线性马达（XY），Z轴DC伺服马达 |
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速度 |
400 MM/sec |
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载重 |
25㎏ |
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光学系统 |
标配：单倍固定倍率光学系统，1倍－2倍（30倍－550倍屏幕显示放大倍率）
选配：两种固定倍率光学系统1－100倍（屏幕显示3580倍） |
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光源系统 |
标配：LED背光，多种颜色的同轴正光
选配：具有专利的可编程的环光 |
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影像处理 |
用户可根据自己需要去除毛边，边缘寻边器，快速寻边器，自动聚焦，及可供选配的具有专利栅格投影系统，区域寻中心功能，灯炮寿命测试 |
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软件 |
多种座标系统，智能化搜索和建立座标系统，功能强大编程功能，包括数学计算，变量名定义，循环分流等。多种不同CAD文本输入。 |
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图象处理传感器 |
高分辨率数字化B&WCCD照相机 765×576象素。 |
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计算机 |
Intel奔腾4处理器Windows 2000操作系统 |
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电源 |
自动转换100－240V 50/60HZ |
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环境 |
17～33℃ 20～80%湿度 |
| 重量 |
500㎏ |
| 外观尺寸 |
795×953×1750 MM |
| 工作站 |
标配：17″SVGA显示器，操作标，鼠标，键盘
选配：15″LCD显示器，操作杆，鼠标，键盘 |
| 精度 |
U2（XY平面）=（1.5+L/250）μm
U1（Z轴）=（1.5+L/50）μm
L：测量长度单位 MM |
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