小野测器上市测量范围增至原产品2.5倍的非接触式厚度仪
小野测器（总部：横滨）上市了静电容量式非接触式厚度仪“CL”系列改进后的新系列“CL-5600”。预定2007年8月1日开始接受订货，9月20日开始供货。产品线包括标准型“CL-5600”和高功能型“CL-5600S”，售价分别为66万1500日元（不含税）和81万9000日元（不含税）。
该系列配合使用以非接触方式测量金属等导电体和传感器间距离的微小位移测量仪“VE”系列，可大幅缩小与测量对象之间的间隙。这样，测量范围便扩大到了原产品的2.5倍左右。另外，还能测量振动的物体。此前，主要以因静止而不适合进行接触测量的硅晶圆、硬盘用铝板及贴铜层压板等为对象，新系列还支持金属板生产线上的厚度测量和Digital Gap测量等。
新系列5600S通过与小型间隙转换器配合使用，能够将传感器部分和转换器的距离延长至1.5m，将转换器和显示部的距离延长至2.5m。通过选配部件，总共可将传感器-转换器-显示部的距离延长至10m。这样一来，便能轻松地嵌入自动测量装置。
此外还可选配以下功能：（1）模拟与比较输出功能“CL-0100”；（2）最高分辨率为0.02μm的运算功能“CL-0200”；（3）可设定绝缘体测量软件“CL-0300”。通过（2）中所述功能可以提高硅晶圆等的测量精度。通过（3）中所述功能可以测量玻璃、薄膜、塑料及水晶晶圆等较薄的物体。
该系列配合使用以非接触方式测量金属等导电体和传感器间距离的微小位移测量仪“VE”系列，可大幅缩小与测量对象之间的间隙。这样，测量范围便扩大到了原产品的2.5倍左右。另外，还能测量振动的物体。此前，主要以因静止而不适合进行接触测量的硅晶圆、硬盘用铝板及贴铜层压板等为对象，新系列还支持金属板生产线上的厚度测量和Digital Gap测量等。
新系列5600S通过与小型间隙转换器配合使用，能够将传感器部分和转换器的距离延长至1.5m，将转换器和显示部的距离延长至2.5m。通过选配部件，总共可将传感器-转换器-显示部的距离延长至10m。这样一来，便能轻松地嵌入自动测量装置。
此外还可选配以下功能：（1）模拟与比较输出功能“CL-0100”；（2）最高分辨率为0.02μm的运算功能“CL-0200”；（3）可设定绝缘体测量软件“CL-0300”。通过（2）中所述功能可以提高硅晶圆等的测量精度。通过（3）中所述功能可以测量玻璃、薄膜、塑料及水晶晶圆等较薄的物体。
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