高纯度清洗推动高精密零件清洗领域再上新台阶！

在半导体行业高速发展及国产替代趋势下，清洗设备的重要性日益突显，可持续性的清洗工艺和解决方案成为时代主流。目前，清洗行业正面临转向精密清洗和高纯度清洗的迫切需求。

——PME观点

高纯度清洗

高精密零件的高洁净度清洗

在工业清洗领域，对高科技部件的精密和洁净工艺要求越来越严格。特别是在半导体制程中，从硅晶圆制造到光刻胶去除、湿法刻蚀等环节，高精密零件的高洁净度清洗需求几乎贯穿始终。因此，如何实现高效的工业零件清洁已成为近年来国际上的热门议题。

清洁度是维持质量标准的重要指标之一。除了在专业领域广泛应用的精密清洗、超净清洗和超精细技术外，也涌现出许多新兴的技术和发展趋势。其中，高纯度清洗因其能够提供高效率和高环保的工艺能力而备受关注。

高纯度清洗是什么？

高纯度清洗

是一种使用高纯度清洗剂和清洗介质去除硅片等零部件表面杂质、油污和金属等物质的清洗技术。目前主要应用于冶金、半导体、光电等领域，也适用于小型和复杂的工件清洗。

以半导体制造为例，清洗工艺的品质直接关系到产品良率。随着半导体尺寸的缩小和结构复杂化，芯片对杂质含量的敏感度也相应提高。使用超高纯度的清洗剂和去离子水/高纯水，以及高级清洗装置进行超精密工业清洗，可以最大程度完成高精密零件的高洁净度清洗。

精密清洗VS高纯度清洗

精密清洗和高纯度清洗都是工业清洗的一部分，通过专业的清洗技术和设备来确保部件/设备的性能和使用周期。

精密清洗主要针对机械设备、电子设备、医疗器械等精密、精细的器械/设备，去除零部件表面的污染物或者恢复设备的原有性能和外观，以满足精密制造和科研的需求。常用的清洗方法包括超声波清洗、激光清洗、机械清洗等。

高纯度部件的清洗，尤其是对高真空元件如UHV、XHV、UCV等，对清洁度的要求极高。为了满足这些要求，高纯度清洗采用特殊的工艺技术和设备，如超声波强化和脉冲压力清洗等，以确保在高纯度应用中实现稳定且高效的清洗效果。

超净清洗VS高纯度清洗

超净清洗和高纯度清洗通常应用于高科技产业中，都是为了提高特定应用环境中的性能和可靠性。

超净清洗是一种深度的清洁和消毒过程，主要用于医疗、电子、制药、航天等领域的高洁净度环境的清洗，以去除零部件表面的微粒、细菌、病毒等有害物质。在半导体等电子行业中，超净清洗则需借助超净高纯试剂等关键性基础化工材料。

而高纯度清洗更侧重于确保材料的高度纯净。通过高效去除材料表面杂质和污染物，从而保证产品的质量和成品率，在半导体制造和其他高科技领域中具有重要的应用价值。例如，在集成电路生产过程中，高达80%的工序都需要使用高纯水来清洗硅片，水的纯度对器件的性能、可靠性和阈值电压有着直接的影响。

高纯度清洗

精密加工领域的清洗解决方案

清洗行业迈入新阶段

我国工业清洗行业已有二十多年历史，几乎渗透到所有的工业领域。近年来，随着对零部件制造要求的不断提高，清洗技术的复杂性和重要性也随之提升，工业清洗行业将逐步向技术密集型转型。

此外，当前环保、高效清洗技术的推出和新型机械设备的涌现，都在推动着清洗行业迎接历史性的发展机遇。特别是在芯片制造工艺迈向更深层次纳米时代的关键时期，清洗设备市场潜力巨大，市场急需高效的工业零件清洁解决方案来满足不断升级的清洗需求。

高纯度清洗技术是随着半导体制造技术的发展而逐渐形成的，在工业清洗行业中占据着关键地位。它对于提高生产效率、保证产品质量以及维持生产系统的正常运行至关重要。

高纯度部件的零件清洗

此前，埃克科林（Ecoclean）就提到“清洗行业的趋势比以往任何时候都要转向精密清洗和高纯度清洗系统。”

埃克科林为满足高科技工业领域对高纯度部件的清洗需求，研发并生产了一系列最适合应用的清洁解决方案。例如超声波强化、脉冲压力清洗、低压等离子、干燥和介质制备系统等，可以确保清洗工艺和设备能够以稳定、可持续且高效的方式达到所需的清洁度水平。

除了对卓越性能和可靠性的需求，现代高纯度清洗系统还必须满足以下要求：

1.适用于重型和大型，也适用于小型和复杂的工件；

2.能适应广泛的材料；

3.符合有关微粒、薄膜化学物质、有机清洁度和无机洁净度等方面的医学规范；

4.考虑到复杂的几何形状和改性材料；

5.满足有机物和残留水分的脱气速率，以及在对禁用物质/元素残留进行表面分析时，将限值限制在原子百分比范围内；

6.实现高科技涂层技术所要求的异常清洁的表面。

以上文字引自“埃克科林ECOCLEAN”公众号

高纯工艺集成系统

高纯工艺系统主要应用于泛半导体、生物制药等先进制造业的产品生产过程中，其核心是控制不纯物的技术。随着国产晶圆厂的积极扩产和国产替代趋势的加强，高纯工艺系统的应用越来越广泛。

至纯科技是国内领先的半导体清洗设备和高纯系统供应商，深耕高纯工艺系统和湿法工艺设备的研发和应用，为电子、生物医药及食品饮料等行业提供整体解决方案以及进行高纯气体供应设备和高纯化学品输送设备的销售。公司多项技术已达到国际先进水平，例如湿法清洗工艺已成功突破14nm制程，并开始向一线集成电路制造企业导入系统集成业务。

高纯工艺系统行业上下游

PME国际精密加工博览会

PME CHINA 2024国际精密加工博览会将于2024年9月3日至5日在上海新国际博览中心盛大举行！

本届展会专注于零部件表面精密加工，提供全方位的解决方案，包括精密磨削技术、去毛刺技术、工业清洗技术、表面处理技术、微加工技术和先进材料。将为展商和观众提供一个了解最新技术动态、市场趋势以及行业专家见解的平台。

无论您是从事精密加工行业的专业人士，还是对精密加工感兴趣的人士，我们都将为您提供有价值的行业信息和实用建议。

更多关于高精密零件的高洁净度清洗工艺和高纯度清洗系统设备的最新资讯，敬请关注“PME精密加工博览会”官方微信公众号！

统筹/审校 | David

编排/封图丨仲凤元

©PME CHINA

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（ PME精密加工）

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