产品推荐 | Mahr 散射光技术产品OptoSurf

Mahr散射光技术产品（OptoSurf）凭借其独特的技术优势适用于高精度要求的加工表面，可以100%快速检测纳米级的表面粗糙度和评估产品表面摩擦性能的独特潜力。Mahr的散射光技术产品广泛应用于汽车工业、机械工程、航空航天工业、医疗技术和半导体等行业。

Mahr散射光测量技术原理

Mahr散射光测量技术使用大孔径物镜和具有离散数量的光电二极管的线形探测器来记录定义角度范围内的散射角分布。从表面以不同角度散射回来的光基本上包含有关被测表面的微观和宏观几何形状的所有信息。统计特征值（Aq、Ask 等）由散射角分布形成，这些新参数通常与功能行为、制造工艺或非接触式确定的粗糙度特征密切相关。  

此外，波长大于被照区域的宏观形状偏差可以精确地从散射角分布的变化中计算出来。散射光方法的优点是对距离变化不敏感（平面可达 2 mm）、测量速度快（每秒> 1000 次测量）、在生产中使用时坚固耐用，并且可以透过均匀的油膜进行测量。

测量原理示意图

散射光测量技术介绍

01 散射光技术的优势

• 非接触式

• 高精度（纳米级）

• 超快速测量（56m/s )，可实现超大范围全扫

• 对振动不敏感，可实现在线集成检测

02 测量参数

• 圆度（RONt）

• 波纹度 (Wt,WDt)

• 快速傅里叶变换分析 (FFT)

• 粗糙度 Aq

03 解决的痛点

• 振纹

• 噪声

• 摩擦性能

• 光学效果：光泽度、反射、阴影等

应用案例

案例1：电动助力转向系统（EPS）中的
滚珠丝杠全程粗糙度，圆度和FFT分析

案例2：在线检测高精度轴承表面的
粗糙度，圆度和波纹度

案例３：在线集成测量超大型轴承表面的
粗糙度，圆度和波纹度

（Mahr马尔精密量仪）

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