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海克斯康技术方案 | 刻蚀机喷淋盘如何实现高效检测?

国际金属加工网 2023年09月01日

刻蚀机作为芯片制造三大主设备之一,是我国打破垄断、寻求“芯”突破的拳头产品。刻蚀技术为硅片上做“微雕”,因此对设备的精密性、稳定性要求极高,其关键难点在于保证晶圆表面的刻蚀一致性,而这很大程度上取决于刻蚀气体的馈入方式。喷淋盘则是刻蚀机馈入刻蚀气体的主要部件。

一个直径近半米的喷淋盘上,均匀地分布着几千个细小的圆孔,反应气体正是通过这些小孔进入反应腔体,在射频作用下形成均匀分布的等离子体。为了保证化学气体均匀地进入反应腔体,喷淋盘表面每一个圆孔的直径、内壁都要经得起检验。

喷淋盘

如此超高精度及数量众多的孔径需要快速完成检测,没有绝对硬核的技术方案,是万万不能的。海克斯康依靠自身过硬技术,开发出极具针对性的产品轻松应对该难题,确保客户产品高质量交付,以下为详细检测方案:

检测要求

  • 喷淋盘几千个小孔(不同客户产品设计不同)直径、位置度、圆度等特征尺寸测量;

  • 需要批量检测,要求测量重复性高,测量节拍快。

检测难点

  • 喷淋盘表面小孔数量多达几千,软件需要处理几千个数据,对软件运算能力有较高要求;

  • 程序编写难度大,步骤繁琐。

解决方案

  • 配置OPTIV Advance 8.6.2+ METUS,满足平面几何尺寸快速测量;

  • 自动变焦镜头提供足够的光学放大倍率,小孔细节轻松展示;

  • 同轴光、轮廓光、6环8区表面环形光,多种光源配合,同时满足圆柱通孔,锥形孔上下端面圆检测要求;

  • METUS软件强大的运算能力保证编程、测量、数据输出过程不卡顿;

  • 速度模式、报表输出与测量并行功能,助力测量效率提升50%;

  • 导入DXF图纸编程,批量导入测量要素,编程简单高效;

  • 报表摘要功能,结合二次编辑图片功能,快速定位、复测;

  • 报告多样化,可输出Excel、CSV、TXT或按用户需求定制。


导入DXF图档,在模型窗口快速编程

CAD图形:直观显示小孔测量要素

OPTIV ADVANCE 8.6.2

海克斯康凭借创新的软硬件技术,保证喷淋盘等大尺寸、大数据量的工件批量测量从理论走向实际,方案已成功应用到多家喷淋盘厂商,后续海克斯康将持续在半导体行业发力,为客户提供优质可靠的解决方案。

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