由于操作过于频繁,请点击下方按钮进行验证!

雷尼绍方案:看,如何提升制程稳定性!

国际金属加工网 2021年07月23日

微信图片_20210723110837.png

韩国运动平台制造商VAD Instrument(以下简称VAD)主要为客户开发定制化的精密运动平台,当中包括提供给需要在真空环境下工作的制程设备

真空应用与要求

许多精密工业制程都必须在真空环境下进行,目的是减少任何气体分子在制程中对加工品的影响。而制程中所涉及到的相关运动控制零组件如导轨,基体等金属材料,以及电机散热问题,则需要经过严格考虑,并采用兼容真空环境的光栅系统,包括耐高温、高洁净度、降低整体气体量释出等特殊设计

微信图片_20210723110841.jpg

半导体真空平台

TONiC UHV超高真空兼容光栅 目前VAD大部分平台型号均采用雷尼绍TONiC系列光栅系统视精度要求配置不同种类的栅尺

微信图片_20210723110846.jpg

TONiC UHV光栅系统

VAD总裁Song, Baek-Kyun先生说道:VAD一般平台型号配置RTLC系列钢带栅尺,如果涉及真空应用、像显示面板AOI检测设备或半导体制程设备等,我们会配置更高精度的RELM系列栅尺,配置兼容真空的TONiC读数头,连接到位于真空腔外的接口。

另外我们开发用于半导体EUV光刻机的膜板检测设备,由于精度要求达到ppm等级,需要采用雷尼绍高端的RLE系列激光尺定位系统,激光发射头安装在XY平台上,而雷尼绍可以提供性能稳定的激光尺,这在市场上比较少见

微信图片_20210723110850.jpg

真空平台配置RLE激光尺系统

雷尼绍TONiC UHV超高真空兼容光栅系列,从读数头、电缆到栅尺都是必须经过专门设计,真空压力高达10-10 Torr,读数头配置RFI屏敝线缆,其基本工作原理,规格性能与我们在大气压下使用的标准型TONiC型号无异。

但是UHV光栅的读数头在设计上消除了气密孔,并且由高洁净的真空兼容材料和粘合剂特制而成,以避免对加工产品质量造成损坏

近乎零的热膨胀系数栅尺 TONiC光栅可搭配多款不同特性的栅尺,并且适合在真空环境应用。Song,Baek-Kyun先生解释他们选择栅尺的准则:我们部分高端机型,采用了雷尼绍RELM系列栅尺,主要看中它近乎零的热膨胀系数,以确保定位精度在温差范围变化大的环境下得以保持,要知道真空腔的温差可达100 °C。

雷尼绍RELM是一款20μm栅距栅尺,在1 m长度内精度高达±1 μm,以坚固的雷尼绍专利材料ZeroMet制成,其热膨胀系数仅为0.75±0.35 μm/m/°C(20 °C时),栅尺可利用背面自带的不干胶带进行安装,同时也支持机械安装方式以避免不干胶在真空中释出气体

微信图片_20210723110855.jpg

XL-80激光干涉仪检测精密直线平台

Song, Baek-Kyun先生继续说:我们看好未来真空应用设备的市场需求,尤其是半导体和显示面板等精密工业制程。目前VAD正在开发更多相关的制程平台。在质量管控方面,我们正在采用雷尼绍XL-80系列激光干涉仪对设备出厂前进行精度检测,大大增加客户对我们的设备性能表现的信心

感谢关注“雷尼绍Renishaw”

微信图片_20210723110858.jpg

阅读原文

(China Marketing 雷尼绍Renishaw )

声明:本网站所收集的部分公开资料来源于互联网,转载的目的在于传递更多信息及用于网络分享,并不代表本站赞同其观点和对其真实性负责,也不构成任何其他建议。本站部分作品是由网友自主投稿和发布、编辑整理上传,对此类作品本站仅提供交流平台,不为其版权负责。如果您发现网站上所用视频、图片、文字如涉及作品版权问题,请第一时间告知,我们将根据您提供的证明材料确认版权并按国家标准支付稿酬或立即删除内容,以保证您的权益!联系电话:010-58612588 或 Email:editor@mmsonline.com.cn。

网友评论 匿名:

分享到

相关主题