中图仪器荣获2020年中国仪器仪表学会科技进步二等奖

国际金属加工网 2020年12月25日

12月24日,中国仪器仪表学会“科学技术奖”颁奖仪式在杭州举行,中图仪器申报的“基于热稳频控制的高精度多参量激光干涉仪研制与产业化”项目荣获2020年中国仪器仪表学会科技进步二等奖。

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中国仪器仪表学会科学技术奖是经国家科技部批准,在国家科技奖励主管部门注册,经国家科学技术奖励工作办公室颁证,由中国仪器仪表学会设立的面向全国仪器仪表领域的综合性奖项,表彰在仪器仪表科技工作中做出突出贡献的单位和个人,鼓励自主创新、团结协作,促进科学研究、技术开发与社会发展密切结合,促进科技成果转化,提高我国仪器仪表的综合实力和水平。本项目SJ6000激光干涉仪具有完整的自主知识产权,稳频精度≤0.04ppm,测量精度0.5ppm,最大测量距离80米,技术指标达到国际先进水平。

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SJ6000激光干涉仪检验测试

SJ6000激光干涉仪可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等多几何参量的高精密测量,用于检测数控机床、自动化设备、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等,以及进行数控机床、三坐标测量机的精度补偿。

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SJ6000激光干涉仪满足了我国各级计量院所、高端精密加工制造、先进数控机床、精密仪器等领域在高精度和大量程长度测量方面的需求,提升了我国自主的高精密激光测量水平和高端计量检定装备的水平。

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数控机床测量

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光刻机测量

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三坐标测量

不忘铸器初心,牢记图强使命,中图仪器持续投资研发极小和极大尺寸的ODS超精密光学仪器,为3C电子、泛半导体业和大型装备制造业提供自主可控的关键技术设备。

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(chotest 中图仪器)

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