奥林巴斯LEXT OLS5000激光共焦显微镜

OLS5000激光共焦显微镜可精确测量亚微米级的形貌和表面粗糙度。数据采集比奥林巴斯以前的显微镜型号快四倍，从而大大提高了生产效率。

1.精确成像

捕捉任意表面形貌。

2.快速检测

获得可靠数据的速度比奥林巴斯以前的显微镜型号快四倍。

3.便捷操作

只需放好样品按下按钮即可。

4.适用于大尺寸样品测量的大行程

测量高达210毫米的样品。

高分辨率，精确成像

凭借对各种类型样品进行精确3D测量的能力，系统可提供用于质量保证和工艺控制的可靠数据。

卓越的横向分辨率

一致的测量值

LEXT专用物镜可精确测量采用其他方式测量会发生畸变的周边区域。

传统物镜

LEXT物镜

新开发的MEMS扫描振镜

新的MEMS扫描振镜具有较低的扫描轨迹失真和较小的光学像差，可进行精确的X-Y扫描。

4K扫描技术

4K扫描技术可在X轴方向扫描4096像素，是奥林巴斯以前显微镜型号的四倍。

OLS5000显微镜可在无需进行图像校正的情况下检测几乎垂直的陡峭斜面以及极低的台阶。

捕获真实形貌

（奥林巴斯）

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