中图仪器SuperView W1光学3D表面轮廓仪半导体行业应用案例

国际金属加工网 2019年12月12日

中图仪器SuperView W1光学3D表面轮廓仪,是一款专用于超精密加工领域的光学检测仪器,其分辨率可达0.1nm。半导体产业作为超精密加工领域一颗璀璨的明珠,在其硅晶圆的制备和晶圆IC的制造过程中,光学3D表面轮廓仪都以其强大的表面质量检测功能给这颗明珠增添一份靓丽的色彩。

视频讲述SuperView W1光学3D表面轮廓仪在半导体行业的典型应用,测量样品分别为减薄硅片和激光镭射槽道。

▲减薄硅片测量

▲激光镭射槽道测量

中图仪器二维码.jpg


(chotest )

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