ZYGO轮廓测量仪在机械加工中的应用

传统的机械件由于受加工设备的限制,对精度包括平面度,粗糙度的要求常规下停留在微米量级。但随着技术发展,人们对机械零件的加工精度要求开始向纳米量级迈进,设备加工精度的提高带动检测技术的发展,传统的检测手段包括接触式和2D方式的检测方法对检测纳米量级精度的机械零件有很大的局限性。

光学轮廓仪最初应用在光学加工行业时,其3D、高速、精密、可靠和稳定,开始引起加工人士的注意并开始应用。ZYGO光学轮廓仪已在汽车发动机喷油嘴、半导体切割刀具、人工关节制造、量块标定等方面有大量的应用。ZYGO的MetroPro®分 析软件中的一些特定功能如平面度、粗糙度、直线度和高度差等在机械加工检测中呈现出新的应用。


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