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NewView™7000轮廓测量仪--测量次纳米表面形貌

众所周知,白光光学轮廓仪可以用来测量表面形貌。随着机械精度和光学加工能力的提高,超光滑或者次纳米表面的加工越来越普及,这些表面的量化已成为过程控制的关键。

NewView™7000系列光学轮廓仪运用扫描白光干涉技术配备MetroPro®软件和专利的FDA分析技术使得表面形貌的测量能够达到次纳米量级。如果很好的控制测量环境,选择合适测量参数以及可靠的仪器校准,则表面粗糙度测量可以达到皮米量级(1×10-12)。

在对超光滑表面进行定量测试时,首先要清楚每一个测量系统均存在其固有本底噪声。这些噪声来源电子噪声、接收器噪声、参考镜表面的微小不平整以及测量环境引起的微小振动等。对大多数样品,NewView系统的测量噪声基本上可以忽略,因为所测量的结果远大于本底噪声。但对于非常光滑的表面,本底噪声就得加以考虑,对这些样品的测量就需要清楚知道噪声的来源并加以很好的控制。

测量超光滑表面需要对测量环境很好的控制,理想的测量环境是:

• 机械和声波振动的最小化

• 在测量时间内严格控制温度的变化,使样品,物镜温度变化最 小化

• 严格控制物镜和样品之间的气流,使气流对测量影响最小化

许多噪声源可以通过以下的方法来消除或减低,一是很好控制测试环境如声波、气流、温度及其变化等;二是进行多次测量并将测量结果加以平均从而获得很好的测量结果。

通过上述描述的方法和测量过程,可以证明ZYGO有能力测量粗糙度小于0.05nm的光滑表面,很好地控制环境并选择合适的内部精度以及基于系统优化函数的位相平均次数,就能让光学轮廓仪测量高质量的表面形貌。因此,NewView™7300的高采样速度和高分辨率使得超光滑表面形貌测量变得轻而易举。


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