NewView™7000轮廓测量仪--测量次纳米表面形貌

众所周知,白光光学轮廓仪可以用来测量表面形貌。随着机械精度和光学加工能力的提高,超光滑或者次纳米表面的加工越来越普及,这些表面的量化已成为过程控制的关键。

NewView™7000系列光学轮廓仪运用扫描白光干涉技术配备MetroPro®软和专利的FDA分析技术使得表面形貌的测量能够达到次纳米量级。如果很好的控制测量环境,选择合适测量参数以及可靠的仪器校准,则表面粗糙度测量可以达到皮米量级(1×10-12)。

在对超光滑表面进行定量测试时,首先要清楚每一个测量系统均存在其固有本底噪声。这些噪声来源电子噪声、接收器噪声、参考镜表面的微小不平整以及测量环境引起的微小振动等。对大多数样品,NewView系统的测量噪声基本上可以忽略,因为所测量的结果远大于本底噪声。但对于非常光滑的表面,本底噪声就得加以考虑,对这些样品的测量就需要清楚知道噪声的来源并加以很好的控制。

测量超光滑表面需要对测量环境很好的控制,理想的测量环境是:

• 机械和声波振动的最小化

• 在测量时间内严格控制温度的变化,使样品,物镜温度变化最 小化

• 严格控制物镜和样品之间的气流,使气流对测量影响最小化

许多噪声源可以通过以下的方法来消除或减低,一是很好控制测试环境如声波、气流、温度及其变化等;二是进行多次测量并将测量结果加以平均从而获得很好的测量结果。

通过上述描述的方法和测量过程,可以证明ZYGO有能力测量粗糙度小于0.05nm的光滑表面,很好地控制环境并选择合适的内部精度以及基于系统优化函数的位相平均次数,就能让光学轮廓仪测量高质量的表面形貌。因此,NewView™7300的高采样速度和高分辨率使得超光滑表面形貌测量变得轻而易举。


声明:本网站所收集的部分公开资料来源于互联网,转载的目的在于传递更多信息及用于网络分享,并不代表本站赞同其观点和对其真实性负责,也不构成任何其他建议。本站部分作品是由网友自主投稿和发布、编辑整理上传,对此类作品本站仅提供交流平台,不为其版权负责。如果您发现网站上所用视频、图片、文字如涉及作品版权问题,请第一时间告知,我们将根据您提供的证明材料确认版权并按国家标准支付稿酬或立即删除内容,以保证您的权益!联系电话:010-58612588 或 Email:editor@mmsonline.com.cn。

网友评论 匿名:
相关链接
  • 蔡司「“智”动化主题月」开启3C电子“智慧”之眼
  • 20-05-25
  • 蔡司:别有洞天的动力电池微观世界
  • 20-05-25
  • 质与速的创新诠释,蔡司“智”动化圆桌在线研讨会全程回顾
  • 20-05-25
  • 蔡司工业测量:赢在起跑线上
  • 20-05-22
  • 你身边的理想测量室——蔡司上海客户中心
  • 20-05-22
  • PolyWorks 在线研讨会 | #03 如何高效检测薄壁件?
  • 20-05-20
  • 雷尼绍 “对抗”残留应力有妙招!
  • 20-05-20
  • 雷尼绍inVia™ Qontor®拉曼光谱仪:“无处藏身”的塑料微粒
  • 20-05-20
  • 『新品速递』捕捉零件的DNA—温泽exaCT L
  • 20-05-20
  • 温泽:“5·20世界计量日” | 测量支撑全球贸易
  • 20-05-20
  • 使用API激光跟踪仪实施高精度超声波探伤系统的检测与标定
  • 20-05-19
  • 雷尼绍 『快讯』自动工件找正加快林业设备制造速度
  • 20-05-19
  • 邀请函 | 齐聚6位大咖,为在线自动化赋能
  • 20-05-18
  • “德”“蔡”兼备,拉近你我距离,DMG MORI 俱乐部今日首发上线
  • 20-05-18
  • 蔡司 线下活动预告 | 工业CT应用技术交流活动
  • 20-05-18
  • PolyWorks|Reviewer 3D尺寸查看分析解决方案,将3D测量结果在产品工程和生产制造团队之间共享
  • 20-05-15
  • 温泽『在线讲堂』如何在Quartis中配置虚拟测针以及对数模的剖视?
  • 20-05-15
  • 温泽『新品速递』集高精度、高灵活性、高颜值于一身的温泽光学测头新成员
  • 20-05-15
  • API机器人性能提升全面解决方案
  • 20-05-12
  • API激光跟踪仪测量服务帮助蒂森克虏伯(ThyssenKrupp)实现高精度工装检测并大幅提升检测效率
  • 20-05-11
  • 雄克
    欧特克

    编辑推荐

    您关注的品牌

    您关注的主题

    猜您喜欢

    分享到

    相关主题