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3D表面轮廓仪在测量动态MEMS设备的应用

测量动态MEMS设备

光学轮廓测量仪是确定MEMS设备表面特征的一 种非常有用的工具。传统意义上,光学轮廓仪被用来测量样品的表面特性。但是,在测量过程中,所测量的样品需保持在静止的状态下,如果样品不稳定或者 处于运动状态则会引起图像混乱模糊、数据不完整或者数据丢失等现象。然而,对于MEMS设备,需要确定该设备处于运动状态时的形貌特征,了解和确定 其在运动状态下的功能和特征对研发和生产质量控制至关重要,作为质量检验,只有动态测量才可以真正模拟MEMS实际运行状态,从而达到正真的功能检测。

先进的3D光学轮廓仪能够实现这一测量功能,运用NewView™7300和新的动态测量模块DMM可以形成一个动态测量体系:一个频闪的LED光源同步于MEMS设备的触发信号,通过调整光源的频闪频率,其MEMS设备的运动被有效“静止”。实现光学轮廓仪在 动态设备上进行测量。

无论是生产制造过程中的质量控制,还是实验室的研究,ZYGO装有DMM模块的NewView™7300系统对检查静态和动态MEMS提供了不可或缺的测量设备和全面的解决办法。其最佳的测量范围和测量速度,已成为动态MEMS测量的理想解决方案。


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