由于操作过于频繁,请点击下方按钮进行验证!

3D表面轮廓仪在测量动态MEMS设备的应用

测量动态MEMS设备

光学轮廓测量仪是确定MEMS设备表面特征的一 种非常有用的工具。传统意义上,光学轮廓仪被用来测量样品的表面特性。但是,在测量过程中,所测量的样品需保持在静止的状态下,如果样品不稳定或者 处于运动状态则会引起图像混乱模糊、数据不完整或者数据丢失等现象。然而,对于MEMS设备,需要确定该设备处于运动状态时的形貌特征,了解和确定 其在运动状态下的功能和特征对研发和生产质量控制至关重要,作为质量检验,只有动态测量才可以真正模拟MEMS实际运行状态,从而达到正真的功能检测。

先进的3D光学轮廓仪能够实现这一测量功能,运用NewView™7300和新的动态测量模块DMM可以形成一个动态测量体系:一个频闪的LED光源同步于MEMS设备的触发信号,通过调整光源的频闪频率,其MEMS设备的运动被有效“静止”。实现光学轮廓仪在 动态设备上进行测量。

无论是生产制造过程中的质量控制,还是实验室的研究,ZYGO装有DMM模块的NewView™7300系统对检查静态和动态MEMS提供了不可或缺的测量设备和全面的解决办法。其最佳的测量范围和测量速度,已成为动态MEMS测量的理想解决方案。


声明:本网站所收集的部分公开资料来源于互联网,转载的目的在于传递更多信息及用于网络分享,并不代表本站赞同其观点和对其真实性负责,也不构成任何其他建议。本站部分作品是由网友自主投稿和发布、编辑整理上传,对此类作品本站仅提供交流平台,不为其版权负责。如果您发现网站上所用视频、图片、文字如涉及作品版权问题,请第一时间告知,我们将根据您提供的证明材料确认版权并按国家标准支付稿酬或立即删除内容,以保证您的权益!联系电话:010-58612588 或 Email:editor@mmsonline.com.cn。

网友评论 匿名:
相关链接
  • GOM Correlate Pro 软硬件结合,这架原型机为航空业提供测量可视化新思路
  • 22-11-29
  • CALYPSO 2022新功能 | 质量控制及自动化检测的再次升级
  • 22-11-28
  • 助力技能大赛,蔡司聚力新工匠培育
  • 22-11-28
  • 智能制造高质量发展高峰论坛启幕,海克斯康再展“出海”硬实力
  • 22-11-25
  • 案例 | 国际热核聚变实验反应堆(ITER)借助PolyWorks®以最精确的方式组装其巨型组件
  • 22-11-25
  • 雷尼绍比对仪系列培训圆满结束!
  • 22-11-25
  • 精彩继续!海克斯康亮相第三届新能源三电工程大会
  • 22-11-24
  • 现场测量新“视界”之绝对臂为氢燃料汽车质量提升提供有效助力
  • 22-11-24
  • 重磅喜讯!SMART Quality荣获智能制造创新大赛全国总决赛三等奖
  • 22-11-24
  • 海克斯康智教机荣获智能制造创新大赛全国总决赛大奖
  • 22-11-24
  • 明日启幕!智能制造高质量发展高峰论坛日程最新出炉~
  • 22-11-24
  • 有了GPU加速的GOM ATOS 5测量头, 有什么不同?
  • 22-11-22
  • 海克斯康高精密智能测量技术重点实验室获批青岛市重点实验室
  • 22-11-21
  • 海克斯康成功获得信息系统建设和服务能力CS2等级证书
  • 22-11-21
  • “锂”想生活 低碳未来 | 海克斯康荣获中国锂电产业链年度创新企业
  • 22-11-21
  • 匠心筑梦 技能强国 | 海克斯康助力技能大赛国赛人才选拔
  • 22-11-21
  • Leica激光跟踪仪助力医疗机器人性能检测
  • 22-11-21
  • 海克斯康顺利通过ISO27001信息安全管理体系认证
  • 22-11-21
  • PolyWorks 2022 IR6 版目前已可下载!
  • 22-11-18
  • 雷尼绍inVia™显微拉曼光谱仪 | 对口腔疾病再多点了解
  • 22-11-18
  • 分享到

    相关主题