中船重工:努力打造世界重要的电子特种气体供应商

国际金属加工网 2018年03月14日

电子特种气体被称作电子工业的“血液”。中船重工718所副所长郭建增告诉记者,718所将努力打造世界重要的电子特种气体供应商,为我国集成电路产业发展提供坚实支撑。

电子特种气体是三氟化氮、六氟化钨等一系列特种气体材料的总称,是大规模集成电路、液晶面板行业生产的关键材料。然而,电子特种气体过去长期被国外企业垄断,严重影响我国半导体产业的发展与产业链完善,影响我国集成电路、半导体相关产品的国际竞争力。

郭建增介绍,718所在国家重大专项的支持下,经过多年军民融合、持续技术创新,相继研制出高纯三氟化氮、六氟化钨等系列特种气体产品,打破国外企业十几年的垄断,结束了该领域相关产品的高价时代,主要产品三氟化氮市场价格大幅下降,改变了我国高纯特种气体长期依赖进口的不利局面。

目前,718所三氟化氮、六氟化钨生产规模均位居国内第一,三氟化氮、六氟化钨的国内市场覆盖率超过95%,国际市场覆盖率达50%;其他7种气体及10种混合气体已研制成功并具备批产条件,得到了国内半导体龙头企业的测试认证。

据介绍,718所将加快三氟化氮、六氟化钨等主要气体产能建设,加大国际国内两个市场开拓力度,加快拓展半导体行业大宗气体现场制气业务,力争在2020年前将三氟化氮、六氟化钨等4种气体产能及市场占有率实现世界第一。


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