轮廓测量仪在电子领域应用案例

众所周知,白光光学轮廓仪可以用来测量表面形貌。随着机械精度和光学加工能力的提高,超光滑或者次纳米表面的加工越来越普及,这些表面的量化已成为过程控制的关键。
光学测量 测量 电子
白光扫描干涉仪NewView™系列能够从样品表面反射和参照反射的相干光中产出形貌高度数据。干涉物镜在垂直方向上进行扫描,CCD记录下干涉条纹的演变。计算机通过分析条纹演变过程中的强度变化,就能精确确定样品形貌的高度。
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